三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用<i>N</i>-甲基吡咯烷酮中14种金属杂质的含量

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理化检验-化学分册 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (9) : 1073-1076. DOI: 10.11973/lhjy-hx202309015

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三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用N-甲基吡咯烷酮中14种金属杂质的含量

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Determination of 14 Metal Impurities in N-Methylpyrrolidone for Integrated Circuits by Triple Quadrupole Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

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