基于毛细力的芯片微操作方法研究

基于毛细力的芯片微操作方法研究

王彬开, 常博, 张衡

Capillary Force Based Micromanipulation of Chips

WANG Binkai, CHANG Bo, ZHANG Heng

机械工程学报 . 2023, (6): 285 -294,308 . DOI: 10.3901/JME.2023.06.285