基于毛细力的芯片微操作方法研究

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机械工程学报 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (6) : 285-294,308. DOI: 10.3901/JME.2023.06.285

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基于毛细力的芯片微操作方法研究

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Capillary Force Based Micromanipulation of Chips

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