一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法

一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法

徐乐, 郭剑, 余丙军, 钱林茂

Rapid Detection on the Thickness of Sub-surface Damage Layer of Silicon

XU Le, GUO Jian, YU Bingjun, QIAN Linmao

机械工程学报 . 2016, (11): 108 -114 . DOI: 10.3901/JME.2016.11.108