一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法

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机械工程学报 ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (11) : 108-114. DOI: 10.3901/JME.2016.11.108

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摩擦学

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Rapid Detection on the Thickness of Sub-surface Damage Layer of Silicon

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