碳化硅圆柱槽微结构表面的化学机械抛光

碳化硅圆柱槽微结构表面的化学机械抛光

赵清亮，孙智源，郭兵

Chemical Mechanical Polishing of Micro-structures on SSiC

ZHAO Qingliang,SUN Zhiyuan,GUO Bing

机械工程学报 . 2015, (15): 183 -189 . DOI: 10.3901/JME.2015.15.183