碳化硅圆柱槽微结构表面的化学机械抛光

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机械工程学报 ›› 2015, Vol. 51 ›› Issue (15) : 183-189. DOI: 10.3901/JME.2015.15.183

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碳化硅圆柱槽微结构表面的化学机械抛光

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Chemical Mechanical Polishing of Micro-structures on SSiC

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