氟等离子体对石墨烯纳晶碳膜的刻蚀加工及摩擦学性能调控

郭美玲, 杨雷, 李鹏阳, 许振涛, 许超愿, 王权岱, 李言

机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (15) : 216-226.

PDF(2328 KB)
PDF(2328 KB)
机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (15) : 216-226. DOI: 10.3901/JME.2024.15.216
摩擦学

氟等离子体对石墨烯纳晶碳膜的刻蚀加工及摩擦学性能调控

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +

Tribological Behavior Regulation of Graphene Nanocrystallites Embedded Carbon Film by Fluorine Plasma Etching

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information +
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2024, 60(15): 216-226 https://doi.org/10.3901/JME.2024.15.216
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2024, 60(15): 216-226 https://doi.org/10.3901/JME.2024.15.216
中图分类号：

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(2328 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

版权所有：中国机械工程学会版权所有,未经同意请勿转载
技术支持：北京玛格泰克科技发展有限公司

/

〈 〉