平面光学元件超平整吸附装载的优化设计与分析

PDF(915 KB)

机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (5) : 241-248. DOI: 10.3901/JME.2024.05.241

扫码查看或转发全文

作者信息 +

Optimal Design and Analysis of Ultra-flat Adsorption Loading for Planar Optical Components

Author information +

文章历史 +

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2024, 60(5): 241-248 https://doi.org/10.3901/JME.2024.05.241

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2024, 60(5): 241-248 https://doi.org/10.3901/JME.2024.05.241

中图分类号：

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

PDF(915 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航