硅外延生长反应腔内外延反应过程的数值仿真建模及实验研究

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机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (5) : 209-218. DOI: 10.3901/JME.2024.05.209

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Numerical Modeling and Experimental Study of the Reaction Process in Silicon Epitaxial Growth Reaction Chamber

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