双谐振结构同轴微波等离子体炬调谐特性分析

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机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (5) : 169-182. DOI: 10.3901/JME.2024.05.169

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Analysis of Tuning Characteristics of Coaxial Microwave Plasma Torch with Bi-resonant Structure

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