蓝宝石超精密抛光表面的热修复机理研究

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机械工程学报 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (15) : 333-340. DOI: 10.3901/JME.2023.15.333

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蓝宝石超精密抛光表面的热修复机理研究

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Study on the Thermal Repair Mechanism for the Ultra-precision Polished Surface of Sapphire

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