GaAs材料解理加工分子动力学分析及工艺实验

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机械工程学报 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (5) : 317-324. DOI: 10.3901/JME.2023.05.317

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Molecular Dynamics Simulation and Experimental Investigation of Mechanical Cleavage of GaAs

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