单晶硅料摆辅助多金刚线切片的锯切力模型研究

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机械工程学报 ›› 2021, Vol. 57 ›› Issue (19) : 260-272. DOI: 10.3901/JME.2021.19.024

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Research on Cutting Force Model of Diamond Wire Saw with Single Crystal Silicon Swing

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