亚微米级工业高精度激光位移传感器设计与实现

孙继红, 王廷军, 陈腾飞

制造业自动化 ›› 2024, Vol. 46 ›› Issue (7) : 163-169.

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制造业自动化 ›› 2024, Vol. 46 ›› Issue (7) : 163-169. DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2024.07.026
设计与应用

亚微米级工业高精度激光位移传感器设计与实现

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Design and Implementation of Sub-Micrometer High-Precision Laser Displacement Sensor

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