超精密机床热形变及其对运动精度的影响研究

陈熠, 王振忠, 雷鹏立, 施晨淳

制造技术与机床 ›› 2023, Vol. 0 ›› Issue (2) : 5-11.

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制造技术与机床 ›› 2023, Vol. 0 ›› Issue (2) : 5-11. DOI: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.001
超精密加工

超精密机床热形变及其对运动精度的影响研究

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Research on thermal deformation of ultra-precision machine tools with effect on motion accuracy

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