纳米级气体静压轴承回转误差测控系统软件开发

钱林弘, 冯艳冰, 张新疆, 雷大江, 蓝河, 崔海龙, 郑越青

制造技术与机床 ›› 2022, Vol. 0 ›› Issue (6) : 176-180.

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制造技术与机床 ›› 2022, Vol. 0 ›› Issue (6) : 176-180. DOI: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2022.06.028
检测与质量

纳米级气体静压轴承回转误差测控系统软件开发

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Software development of measuring and controlling system for the rotation error of nano aerostatic bearing

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