黄安贻, 张波涛, 张弓, 侯至丞, 王卫军, 蔡君义, 冯伟, 韩彰秀
针对目前高精密行业中对位精度不高的问题,提出一种3-PPR平面并联对位平台的运动控制系统。结合解析法和矢量法,建立了平面并联对位平台运动学正逆解方程,采用MATLAB分析计算了对位平台在不同位姿下的工作空间。设计了一套基于GUS Controller运动控制器的对位控制系统,使用PID方法整定了驱动电机的运动性能,并通过运动学分析及控制系统对其精度进行实验研究。结果表明,平面并联对位平台的重复定位精度可达到1.5μm,驱动精度可达到1μm,在5s定位时间内,其位置误差和偏角误差为±5μm和0.0025°,在10s定位时间内,其位置误差和偏角误差为±3μm和0.0025°,可适用于各种高精密对位场合。