超声振动辅助切削单晶硅的剥离去除机制

冉迪, 苑泽伟, 卞思文, 邓鑫华, 王宁, 李予欣

组合机床与自动化加工技术 ›› 2023, Vol. 0 ›› Issue (8) : 163-166,182.

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组合机床与自动化加工技术 ›› 2023, Vol. 0 ›› Issue (8) : 163-166,182. DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2023.08.035
工艺与装备

超声振动辅助切削单晶硅的剥离去除机制

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Stripping Removal Mechanism of Ultrasonic Vibration-Assisted Cutting on Single-Crystal Silicon

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