激光辅助水射流微铣削单晶β-Ga2O3衬底的实验研究

田龙, 黄传真, 刘盾, 姚鹏, 刘含莲, 刘雪飞

中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (13) : 1559-1567.

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中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (13) : 1559-1567. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.13.005
机械基础工程

激光辅助水射流微铣削单晶β-Ga2O3衬底的实验研究

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Experimental Study of Laser Assisted Water Jet Micromilling of Single Crystal β-Ga2O3 Substrates

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