激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究

段凌云, 黄传真, 刘盾, 姚鹏, 刘含莲

中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (10) : 1172-1183.

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中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (10) : 1172-1183. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.10.006
机械基础工程

激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究

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An Experimental Investigation of Laser Assisted Waterjet Microgrooving of GaAs Wafers

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