超精密加工误差补偿技术研究综述

doi:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.03.001

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中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (03) : 253-268. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.03.001

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机械基础工程

超精密加工误差补偿技术研究综述

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Research Review of Error Compensation Technology for Ultra-precision Machining

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