细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

王紫光, 刘金鑫, 尹剑, 周平, 沙智华, 康仁科

中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (02) : 245-251.

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中国机械工程 ›› 2023, Vol. 34 ›› Issue (02) : 245-251. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2023.02.015
先进材料加工工程

细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Surface Quality of Ultra-precision Grinding of Silicon with Fine Diamond Grinding Wheels

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2023, 34(02): 245-251 https://doi.org/10.3969/j.issn.1004-132X.2023.02.015
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2023, 34(02): 245-251 https://doi.org/10.3969/j.issn.1004-132X.2023.02.015
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
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