光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试

盛天宇, 李健, 李鸿昌, 蒋永刚

中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (15) : 1803-1809.

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中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (15) : 1803-1809. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.15.006
机械基础工程

光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试

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Fabrication and Measurement of SiC Fiber-optic Fabry-Perot Pressure Sensors for High-temperature Applications

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