介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验

邓乾发, 程军, 吕冰海, 袁巨龙, 王旭, 岑凯迪,

中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (15) : 1772-1779，1793.

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中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (15) : 1772-1779，1793. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.15.002
磨粒技术专栏

介电泳效应平面抛光的电极同层布置方式数值仿真与实验

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Numerical Simulation and Experiments of SLAEs for Planar Polishing with Dielectrophoresis Effect

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