纳米精度在位测量系统测头误差校正方法

郭曦鹏, 徐闻, 王定文, 李蓉, 尹韶辉

中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (09) : 1084-1089.

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中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (09) : 1084-1089. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2022.09.010
精度理论与评价方法

纳米精度在位测量系统测头误差校正方法

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Probe Error Correction Method for Nano-precision On-machine Measurement Systems

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