图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究

侯想, 刘熠新, 钟梦洁, 林赛, 刘杨, 罗荣煌, 罗学涛, 张飒,

中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (24) : 3001-3007.

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中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (24) : 3001-3007. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.24.014
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图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究

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Research on Dry Etching Processes on PSSs

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