激光改性后氮化铝基板的可加工性研究

陈妮, 韦佳伟, 张鑫磊, 李亮, 何宁

中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (23) : 2817-2882.

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中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (23) : 2817-2882. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.23.005
航空航天精密与微细制造技术

激光改性后氮化铝基板的可加工性研究

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Research on Machinability of Laser Modified AlN Substrates

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