化学机械磨削技术研究现状与展望

任莹晖, 周家恒, 李伟, 周志雄, 李陈方

中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (18) : 2143-2152.

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中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (18) : 2143-2152. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.18.001
机械基础工程

化学机械磨削技术研究现状与展望

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