基于多分量卷积神经网络的多晶硅晶片颜色差异检测

郭保苏；庄集超；章钦；吴凤和

中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (03) : 297-304.

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中国机械工程 ›› 2021, Vol. 32 ›› Issue (03) : 297-304. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2021.03.007
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基于多分量卷积神经网络的多晶硅晶片颜色差异检测

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Color Difference Detection of Polycrystalline Wafers Based on Multi-component Convolution Neural Network

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