超精密气体静压系统节流器法向随机微振动研究

沈小燕;丁佳为;禹静;李东升

中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (20) : 2429-2436.

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中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (20) : 2429-2436. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.20.005
机械基础工程

超精密气体静压系统节流器法向随机微振动研究

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Research on Normal Random Micro-vibration of Restrictors in Ultra-precision Gas Static Pressure Systems

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