基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测

余石龙, 鲍劲松, 李婕, 张启华

中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (14) : 1686-1692.

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中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (14) : 1686-1692. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.14.007
服务型制造

基于误差注意力的晶圆制造数据异常检测

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Wafer Manufacturing Data Anomaly Detection Based on Error Attention

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