原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势

房丰洲

中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (9) : 1009-1021.

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中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (9) : 1009-1021. DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.09.001
机械基础工程

原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势

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On Atomic and Close-to-atomic Scale Manufacturing——Development Trend of Manufacturing Technology

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