齿面干涉测量系统的成像畸变分析与光路优化

王兆辉, 杨鹏程, 徐晋, 梁蒲佳, 朱新栋

中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (10) : 1219-1225.

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中国机械工程 ›› 2022, Vol. 33 ›› Issue (10) : 1219-1225. DOI: 10.3969/j.issn.1004132X.2022.10.011
机械基础工程

齿面干涉测量系统的成像畸变分析与光路优化

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Imaging Distortion Analysis and Optical Path Optimization of Tooth Surface Interferometry Systems

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