磁控溅射ZrAlCuN薄膜的微观组织与力学性能

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.014

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (5) : 109-114. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.014

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表面工程

磁控溅射ZrAlCuN薄膜的微观组织与力学性能

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Microstructure and Mechanical Properties of ZrAlCuN Films Prepared by Magnetron Sputtering

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