磁控溅射Al-Ti合金薄膜的结构与性能变化

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.04.015

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (4) : 95-99. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.04.015

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表面工程

磁控溅射Al-Ti合金薄膜的结构与性能变化

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Structure and Properties Variation of Al-Ti Alloy Coatings Prepared by Magnetron Sputtering

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