沉积时间对钼薄膜结构和热疲劳性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.03.002

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (3) : 10-14. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.03.002

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表面工程

沉积时间对钼薄膜结构和热疲劳性能的影响

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Influence of Deposition Time on Structure and Thermal Fatigue Property of Molybdenum Film

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