乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (2) : 95-101. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

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表面工程

乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响

{{article.zuoZhe_CN}}

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Effect of Ethanol on the Rate Selectivity of Copper Film Concave Position and Convex Position in the CMP Process with Low Abrasive Concentration

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2014, 27(2): 95-101 https://doi.org/10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2014, 27(2): 95-101 https://doi.org/10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

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