气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.006

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 31-36. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.006

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表面工程

气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响

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Effects of Gas Pressure on Microstructure and Properties of Diamondlike Carbon Films

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