磁控溅射法制备ZrAlYN涂层的结构和性能

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.003

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 12-17. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.003

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表面工程

磁控溅射法制备ZrAlYN涂层的结构和性能

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Structure and Properties of ZrAlYN Coating Deposited by Magnetron Sputtering

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