靶电流对磁控溅射制备TiB2薄膜结构及性能的影响

冷啸, 李红轩, 吉利, 张定军

中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (5) : 147-157.

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中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (5) : 147-157. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20231114002
极端条件表面工程专栏

靶电流对磁控溅射制备TiB2薄膜结构及性能的影响

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Effect of Target Current on the Structure and Properties of TiB2 Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

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