10m长管道内壁类金刚石薄膜沉积及性能*

靳朋礼, 田修波, 巩春志

中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (6) : 49-56.

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (6) : 49-56. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20230227003
研究论文

10m长管道内壁类金刚石薄膜沉积及性能*

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Deposition and Properties of DLC Film on the Inner Wall of a 10-m-Long Stainless-steel Tube

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