类金刚石薄膜的残余应力调控研究进展

杜乃洲, 付志民, 冯存傲, 郭鹏, 李晓伟

中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (5) : 238-252.

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中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (5) : 238-252. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220629002
综述论文

类金刚石薄膜的残余应力调控研究进展

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Research Progress in Residual Stress Modulation of Diamond-like Carbon Film

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