HiPIMS电源的设计基础及研究进展

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20220228001

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 1-9. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220228001

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HiPIMS电源的设计基础及研究进展

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Design Basis and Research Progress of HiPIMS Power Supply

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