HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控*

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20220115002

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 42-55. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220115002

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HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控*

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Discharge Characteristics of HiPIMS and Its Regulation on the Structure and Properties of Thin Films

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