HiPIMS制备TiB2、TiBN涂层及其等离子体性质

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20220114001

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 228-235. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220114001

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HiPIMS制备TiB₂、TiBN涂层及其等离子体性质

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Fabrication and Plasma Properties of TiB2, TiBN Films by HiPIMS

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