高功率脉冲磁控溅射管内壁沉积Cr薄膜结构及性能

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20211208002

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 210-216. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211208002

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高功率脉冲磁控溅射管内壁沉积Cr薄膜结构及性能

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Structure and Properties of Cr Films Deposited by High Power Impulse Magnetron Sputtering on Inner Surface of Tube

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