磁控溅射制备高熵合金薄膜研究进展∗

罗朋，王晓波，巩春志，田修波

中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (5) : 53-66.

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中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (5) : 53-66. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210526001
综述论文

磁控溅射制备高熵合金薄膜研究进展∗

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Research Progress of High Entropy Alloy Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

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