飞秒激光制备梯度润湿性单晶硅表面∗

杨奇彪，卞若男，王杰，周维，刘顿

中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (6) : 175-180.

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中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (6) : 175-180. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210506001
研究论文

飞秒激光制备梯度润湿性单晶硅表面∗

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Gradient Wettability of Monocrystalline Silicon Surface Prepared by Femtosecond Laser

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