磁控溅射法制备T型柔性薄膜热电偶*

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20210416002

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 231-236. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210416002

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磁控溅射法制备T型柔性薄膜热电偶*

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Preparation of T-type Flexible Thin Film Thermocouple by Magnetron Sputtering

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